پایه های گرانیتی یاتاقان هوا، پشتیبانی بدون اصطکاک و{0}}فوق العاده پایدار برای سیستمهای حرکتی{1} با دقت بالا، بهبود دقت موقعیت، تکرارپذیری و میرایی ارتعاش را فراهم میکنند. پایه های گرانیتی حامل هوا UNPARALLELED® برای پشتیبانی از تجهیزات نیمه هادی، نوری و اتوماسیونی که نیاز به کنترل حرکت در سطح نانومتری و پایداری شدید سیستم دارند، طراحی شده اند.
پایه گرانیتی با هوا چیست؟
یکپایه گرانیت بلبرینگ هواترکیبی از پایداری گرانیت دقیق با فن آوری بلبرینگ هوا، که اجزای متحرک را روی لایه نازکی از هوای تحت فشار معلق می کند. این کار تماس مکانیکی را از بین می برد، اصطکاک، سایش و لرزش را کاهش می دهد و در عین حال حرکت با سرعت بالا و دقت بالا را ممکن می کند.
چرا حرکت بدون اصطکاک مهم است؟
اصطکاک خطاهای غیرخطی، سایش و گرما را در سیستمهای حرکتی- معرفی میکند. با استفاده از بلبرینگ هوا بر روی پایه گرانیتی:
حرکت صاف و قابل تکرار است
سایش از بین می رود
عملکرد سیستم در طول زمان حفظ می شود
پایه های بلبرینگ هوا UNPARALLELED® دقت حرکت را برای کاربردهای فوق العاده{0}دقیق به حداکثر می رساند.
چگونه گرانیت از ثبات پشتیبانی می کند؟
گرانیت ثبات ابعادی، میرایی ارتعاش و استحکام را فراهم می کند. هنگام جفت شدن با بلبرینگ های هوا:
رانش حرارتی به حداقل می رسد
ارتعاشات به طور طبیعی جذب می شوند
خطاهای حرکتی با فرکانس بالا-کاهش مییابد
این ترکیب دقت موقعیتیابی نانومتری{0}}در CMM، مراحل نوری و سیستمهای بازرسی نیمهرسانا را تضمین میکند.
بلبرینگ هوا در مقابل پایه های بلبرینگ سنتی
| ویژگی | پایه گرانیت بلبرینگ هوا | پایه یاتاقان توپ / لغزنده | پایه چدن |
|---|---|---|---|
| اصطکاک | نزدیک به صفر | متوسط | متوسط |
| بپوشید | حداقل | متوسط | بالا |
| میرایی ارتعاش | عالی | منصفانه | متوسط |
| پایداری حرارتی | عالی | متوسط | متوسط |
| تکرارپذیری | نانومتر-سطح | سطح میکرون- | سطح میکرون- |
| تعمیر و نگهداری | کم | متوسط | بالا |
| عمر خدمات | 20+ سال | 5-10 سال | 10-15 سال |
کدام برنامه ها بیشترین سود را دارند؟
بازرسی ویفر نیمه هادی
مراحل لیتوگرافی
تداخل سنجی نوری
اتوماسیون فوق العاده-دقیق
اندازهگیری دقیق-CMM
سوالات متداول
پایه گرانیتی یاتاقان هوا چیست؟
این یک پلت فرم گرانیتی با بلبرینگهای هوا است که حرکت بدون اصطکاک-با دقت بالا را ممکن میسازد.
چرا گرانیت را با بلبرینگ های هوا ترکیب می کنیم؟
گرانیت استحکام و پایداری را فراهم می کند، در حالی که بلبرینگ های هوا اصطکاک و سایش را از بین می برند.
آیا این پایهها میتوانند به تکرارپذیری نانومتری- دست یابند؟
بله، پایه های UNPARALLELED® که به درستی مهندسی شده اند، از حرکت سطح نانومتری- پشتیبانی می کنند.
آیا پایه های گرانیتی حامل هوا برای حرکت با سرعت بالا- مناسب هستند؟
بله، بلبرینگهای هوا امکان حرکت صاف و با سرعت بالا-با کمترین خطا را دارند.
آیا آنها نیاز به نگهداری دارند؟
حداقل نگهداری مورد نیاز است، در درجه اول برای تامین هوا و تمیزی.
در کدام صنایع از پایه های گرانیتی هوابرد استفاده می شود؟
نیمه هادی، اپتیک، اتوماسیون دقیق، مترولوژی و ساخت{0}دقیق فوق العاده.






