تجهیزات بازرسی دقیق نوری و نیمه هادی به شدت به مسیرهای نوری پایدار، دریافت سیگنال الکتریکی ضعیف و بازخورد موقعیت گریتینگ با دقت بالا-تکیه دارند. تعداد زیادی لنز نوری، سنسورهای تصویر CCD/CMOS، قطعات تداخل سنجی لیزری و سنسورهای حساس مغناطیسی در داخل تجهیزات نصب شده است. اگر اجزای ساختاری مغناطیسی باشند، میدان‌های مغناطیسی سرگردان رخ می‌دهند که در جذب سیگنال تداخل ایجاد می‌کند، باعث اعوجاج تصویر و رانش اندازه‌گیری می‌شود و حتی بر تفسیر نتایج بازرسی ساختار ویفر میکرو- تأثیر می‌گذارد. پرتوهای فلزی معمولی عموماً مغناطیسی هستند. اگرچه برخی از آلیاژها مغناطیس زدایی می شوند، اما آنها تمایل دارند دوباره مغناطیس باقیمانده را تحت تأثیر حرکت متناوب و لرزش طولانی مدت- ایجاد کنند. گروه UNPARALLELED پرتوهای گرانیتی با دقت غیر مغناطیسی را توسعه می‌دهد. این پرتوها با بهره‌گیری از ویژگی‌های طبیعی غیر مغناطیسی سنگ، همراه با فناوری انحصاری ماشینکاری فوق‌العاده{11}دقیق، الزامات دوگانه مرجع غیر مغناطیسی و حرکت پایدار برای تجهیزات بازرسی نوری و نیمه‌رسانا را برآورده می‌کنند.
1. بستر غیر مغناطیسی طبیعی: تداخل میدان مغناطیسی سرگردان را از منبع حذف کنید
بیشتر گرانیت حاوی مواد معدنی فرومغناطیسی کمی است و پس از غربالگری ویژه برای گرانیت های غیر مغناطیسی، مغناطیسی نمی شود یا مغناطیسی باقی مانده را حفظ نمی کند. برخلاف اجزای فلزی، میدان مغناطیسی آن با ارتعاش یا تغییرات دما تغییر نخواهد کرد. در سناریوهایی مانند بازرسی ویفر نیمه هادی و تداخل سنجی نوری، اجزای حساس مغناطیسی در داخل تجهیزات یکپارچه می شوند. حتی میدان‌های مغناطیسی سرگردان ضعیف ممکن است باعث انحراف مسیر لیزری و جهش‌های قرائت گریت شوند که تکرارپذیری اندازه‌گیری میکرون و زیر{4}}میکرون را مختل می‌کند. UNPARALLELED بازرسی نمونه برداری مغناطیسی را هنگامی که سنگ خام به کارخانه می رسد اضافه می کند تا مواد خالی مخلوط شده با مواد معدنی فرومغناطیسی را از بین ببرد و اطمینان حاصل کند که کل پرتو غیر مغناطیسی باقی می ماند. محصولات نهایی نیازی به عملیات مغناطیسی زدایی اضافی ندارند و خطر مغناطیسی شدن مجدد در اثر ضربه را ندارند و محیط مغناطیسی تمیزی را برای مسیرهای نوری و سیستم‌های حسگر فراهم می‌کنند.
2. عملکرد هم افزایی چند-فیزیکی: مرجع حرکت پایدار فراتر از مغناطیس غیر-
غیر{0}}غناطیس گرایی تنها یک نیاز اساسی است. تجهیزات بازرسی نوری و نیمه هادی نیز الزامات سختی را در مورد پایداری حرارتی، استحکام دینامیکی و سرکوب ارتعاش پرتوها تحمیل می کنند. با ضریب انبساط حرارتی پایین، پرتوهای گرانیتی غیر{3}}دقیق مغناطیسی کمترین تغییر ابعادی ناشی از افزایش دما از موتورها و اجزای نوری را در طول عملیات طولانی مدت متحمل می‌شوند و به طور موثر از رانش حرارتی مرجع نصب برای ریل‌های راهنما و مقیاس‌های خطی جلوگیری می‌کنند. میرایی بالای مواد، ارتعاش ایجاد شده در هنگام حرکت رفت و برگشتی اسلایدها با سرعت بالا را جذب می کند و از انتقال لرزش به لنزهای نوری و تار شدن تصاویر جلوگیری می کند. در مرحله طراحی، UNPARALLELED شبیه‌سازی دینامیکی و حرارتی را برای بهینه‌سازی مقطع{7}}تیر با توجه به محدوده سفر، بار لغزشی و شتاب تجهیزات بازرسی انجام می‌دهد. برای کاهش بار موتورهای خطی و انحراف دینامیکی ناشی از اینرسی حرکت، استحکام و وزن بالا را متعادل می‌کند. سازه‌های یکپارچه یا مونتاژ شده دقیق را می‌توان برای تجهیزات اسکن ویفر{11}}کوچک-با دقت بالا{12}}یا با فرمت بزرگ{11} انتخاب کرد.
3. ماشینکاری دقیق و فرآیند جاسازی غیر مغناطیسی برای مونتاژ ماژول بازرسی
فضای داخلی اتاق های تمیز نوری و نیمه هادی نیاز به تمیزی بالایی دارد. در همین حال، پرتوها نیاز به حمل بسیاری از پایه های نوری، مقیاس های خطی و پایه های حسگر دارند. بست های تعبیه شده فلزی معمولی خطرات مغناطیسی دارند. UNPARALLELED از آستین‌های غیر مغناطیسی تعبیه‌شده برای تیرهای گرانیتی غیرمغناطیسی استفاده می‌کند، که با چسب‌های غیرمغناطیسی و چسب مخصوص با فرار{{6} کم-همسان شده است. همه اجزای مونتاژ غیر مغناطیسی می مانند و میدان مغناطیسی محلی ایجاد نمی کنند. سطوح مرجع تیرها به صورت نانو{10}}در یک کارگاه{11}}ارتعاش دمای ثابت{12}}ایزوله قرار می‌گیرند تا مستقیماً، موازی بودن و صافی را کنترل کنند. پس از ماشینکاری، پرتوها از طریق تمیز کردن بدون گرد و غبار{14} می‌روند تا گرد و غبار و زباله‌ها را از بین ببرند و از آلودگی ذرات روی ویفرها و لنزهای نوری جلوگیری کنند. چیدمان سوراخ از طریق شبیه سازی تنش بهینه شده است تا از تمرکز تنش ناشی از سوراخ های متراکم و تغییر شکل سنگ های موضعی در حین سفت شدن پیچ جلوگیری شود. لبه‌ها برای کاهش تجمع گرد و غبار در گوشه‌های مرده غیرفعال می‌شوند و برای نصب در داخل محفظه‌های تمیز مناسب هستند.
4. سازگاری شرایط کاری برای تجهیزات بازرسی نوری و نیمه هادی چندگانه
پرتوهای گرانیتی با دقت غیر مغناطیسی برای تجهیزات بازرسی مجهز به حسگرهای مغناطیسی-حساس، تداخل سنج های لیزری و تصویربرداری با وضوح بالا- ایده آل هستند. کاربردهای معمولی شامل ابزارهای بازرسی عیوب سطح ویفر، پروفیل‌های نوری، سیستم‌های اسکن کانفوکال لیزری، بازرسی ظاهری زیرلایه شیشه‌ای و اندازه‌شناسی دقیق ماسک نوری است. نیاز اصلی چنین تجهیزاتی برش سنگین نیست، بلکه اسکن و تصویربرداری با دقت بالا{5} پایدار است. ویژگی غیر مغناطیسی پرتوها از مسیرهای نوری و حسگرها محافظت می کند. پایداری ابعادی بالا تضمین می‌کند که داده‌های اندازه‌گیری در طول مدت-اسکن طولانی مدت جابجا نمی‌شوند. میرایی بالا لرزش را سرکوب می کند تا تصویر واضح را تضمین کند. در مقایسه با تیرهای آلیاژ آلومینیوم و چدن، پرتوهای گرانیتی غیرمغناطیسی{10} هیچ خطر مغناطیسی ندارند. دقت آنها در خدمات طولانی مدت به آرامی کاهش می‌یابد و زمان از کار افتادگی کالیبراسیون را کاهش می‌دهد. UNPARALLELED از توسعه سفارشی با توجه به اندازه اتاق مشتری، طرح مسیر نوری و رابط های نصب، رزرو اسلات مسیریابی، حفره های اجتنابی و مرجع نصب برای اجزای نوری پشتیبانی می کند.
5. بازرسی کامل-کارخانه برای تضمین کیفیت تحویل
علاوه بر آزمایش‌های بارگذاری دقیق هندسی و سختی مرسوم، محصولات نهایی از نظر مغناطیسی بررسی می‌شوند تا تأیید شود که کل پرتو شامل قطعات تعبیه‌شده مغناطیسی نیست. بازرسی دقیق هندسی از تجهیزات اندازه‌شناسی قابل ردیابی CNAS استفاده می‌کند. اسناد کامل شامل سوابق پاکیزگی، گزارش تست مواد و داده های تغییر شکل بارگذاری ارائه شده است. بسته بندی بدون گرد و غبار{4}}برای جلوگیری از آلودگی در حین حمل و نقل استفاده شده است. برای مدل‌های سفر طولانی، از چسب فرار کم{{7} برای تیرهای مونتاژ شده استفاده می‌شود، و اتصالات در مناطق کم{8}}تنش بدون تداخل با مرجع نوری و اندازه‌گیری هسته قرار می‌گیرند.
نتیجه گیری
در تجهیزات بازرسی دقیق نوری و نیمه هادی، میدان های مغناطیسی سرگردان مستقیماً تصویربرداری نوری و اندازه گیری سیگنال ضعیف را مختل می کنند، که به سختی می توان از پرتوهای فلزی سنتی به طور کامل از آن جلوگیری کرد. پرتوهای گرانیتی با دقت غیر مغناطیسی بی نظیر، زیرلایه‌های سنگی غیرمغناطیسی طبیعی را به کار می‌گیرند، همراه با-جاسازی مغناطیسی غیرمغناطیسی، لایه‌بندی فوق-دقیق و فناوری پردازش تمیز. آنها به طور همزمان به محیط غیر{6}}مغناطیسی، تغییر شکل حرارتی کم، استحکام بالا با میرایی ارتعاش و پایداری ابعادی بلندمدت- دست می‌یابند. این پرتوها که برای بازرسی ویفر و تجهیزات اندازه‌شناسی نوری مناسب هستند، یک حامل حرکتی خالص و پایدار برای سیستم‌های نوری و واحدهای اندازه‌گیری حساس مغناطیسی- فراهم می‌کنند.