همانطور که تجهیزات نیمه هادی به سمت اندازه های ویژگی کوچکتر پیش می روند، قاب زیر محفظه فرآیند خود به یک ابزار دقیق تبدیل می شود. موقعیت‌یابی مراحل در مقیاس نانومتری، اپتیکی که نمی‌تواند دریفت زیر میکرونی را تحمل کند، و سیستم‌های بازرسی که ویژگی‌های کوچکتر از یک ویروس را مقایسه می‌کنند - همه آنها روی پایه‌ای قرار دارند که پایداری آن سقف دستگاه را مشخص می‌کند. این مقاله دلیل آن را توضیح می دهدقطعات گرانیتی تجهیزات نیمه هادیبه پاسخ استاندارد تبدیل شده‌اند، و تامین‌کننده چه چیزی باید داشته باشد تا آنها را به طور مداوم تحویل دهد.
آنچه پایداری نانومتری از یک ماده پایه می طلبد
یک پایه برای تجهیزات لیتوگرافی، اندازه‌شناسی یا بازرسی باید سه شرط را در یک زمان برآورده کند: ارتعاش باید به‌قدری سریع از بین برود که فرآیند یا اندازه‌گیری را تار نکند. انبساط حرارتی باید به اندازه کافی کم باشد که تغییرات دمایی کف مغازه باعث تغییر شکل ساختار نشود. و این ماده نباید در طول سالها کارکرد شل شود یا خزش کند، زیرا کالیبراسیون مجدد یک ابزار تولید گران است. گرانیت طبیعی هر سه را برآورده می کند: میرایی داخلی بالا، انبساط حرارتی نزدیک به 5 x 10^-6 /K، و پایداری ابعادی که به جای کاهش با زمان پس از کاهش تنش مناسب، بهبود می یابد.
چرا گرانیت - و کدام گرانیت
هر گرانیتی برابر نیست. گرانیت سیاه و سفید متراکم و ریزدانه با ساختار معدنی یکنواخت با ماشین آلات و چرخش قابل پیش بینی و حفظ کیفیت سطح خود. گرانیت سیاه بی نظیر مورد استفاده در اجزای نیمه هادی ما دارای چگالی حدود 3100 کیلوگرم بر متر مکعب و پایداری طولانی مدت نسبت به بسیاری از سنگ مرمرهای اروپایی است. سپس مواد درج، عوامل باندینگ و فرآیند لپینگ با اتاق تمیز و محیط خلاء که پایه در آن استفاده می‌شود، مطابقت داده می‌شود.
برنامه های کاربردی با سازندگان تجهیزات
پایه‌ها و اجزای گرانیتی ما از قاب‌های اندازه‌شناسی، دستگاه‌های بازرسی و پلت‌فرم‌های حرکتی برای سازندگان تجهیزات در زمینه نیمه‌رسانا و ابزار دقیق پشتیبانی می‌کنند - پروژه‌های نمایش داده شده عمومی شامل سیستم‌های توموگرافی کامپیوتری اشعه ایکس uCT شریک ما، در کنار تحویل‌های سری طولانی‌مدت برای سازندگان تجهیزات اندازه‌گیری و نیمه‌رسانا است. الگوی رایج در این پروژه‌ها یک بخش کامل نیست، بلکه یک فرآیند قابل تکرار است: داده‌های توافق شده، تلورانس‌های منطقه‌ای، اندازه‌گیری مستند و کیفیت سری پایدار.
امکانات پشت دقت
قطعات نانومتری را نمی توان در یک طبقه معمولی مغازه ساخت. سالن‌های تولیدی تحت کنترل دما و رطوبت ما حدود 10000 متر مربع را پوشش می‌دهند که بر روی پایه‌های بتنی فوق‌سخت جدا شده از ارتعاش زمین - محیطی که در آن سازه‌های گرانیتی بزرگ آسیاب می‌شوند، لایه‌بندی می‌شوند و اندازه‌گیری می‌شوند بدون اینکه شوک حرارتی یا ارتعاشات ناشی از زمین وارد قطعه شود. به همان اندازه مهم است که بعد از ماشین کاری چه اتفاقی می افتد: اندازه گیری با سطوح الکترونیکی ماهر آلمان و تداخل سنج های لیزری رنیشاو بریتانیا، که هرکدام دارای کالیبراسیون معتبر هستند، "دقت بالا" را به یک عدد مستند تبدیل می کند که بخش کیفیت شما می تواند تأیید کند.
گواهینامه ها به عنوان پایه، نه نشان
عرضه سری به مشتریان نیمه هادی نیازمند یک فرآیند مدیریت شده است: ISO 9001 برای مدیریت کیفیت، ISO 45001 برای ایمنی و بهداشت شغلی، و ISO 14001 برای مدیریت زیست محیطی. گواهینامه ها به خودی خود دقت را تضمین نمی کنند، اما نشان می دهند که سوابق اندازه گیری، قابلیت ردیابی و اقدامات اصلاحی به طور سیستماتیک نگهداری می شوند - این دقیقا همان چیزی است که ممیزی تامین کننده تجهیزات نیمه هادی به دنبال آن است. شما می توانید گواهی های ما را دردر مورد ماصفحه
انتخاب تهیه کننده براینیمه هادی گرانیتی دقیقبنابراین اجزاء انتخابی از محیط و قابلیت اندازه گیری به اندازه مواد است. اگر در حال توسعه تجهیزات نسل بعدی هستید، الزامات پایداری و رابط های خود را برای ما ارسال کنید - ما شواهد اندازه گیری مربوطه را به اشتراک می گذاریم و یک طرح جزء با یک طرح بازرسی کامل را پیشنهاد می کنیم.