در دنیای پر مخاطره-تولید نیمه هادی و اپتیک پیشرفته، حاشیه خطا وجود ندارد{{1}. چه این یک مرحله شبکیه در دستگاه لیتوگرافی EUV باشد یا یک لنز پیچیده برای تصویربرداری هوافضا، اجزای شیشه ای دقیق بسیار مهم هستند. با این حال، ماشینکاری شیشه بسیار دشوار است. شکننده است، مستعد ترک خوردگی میکرو-و حساس به شوک حرارتی است.
در UNPARALLELED، ما دهه ها را صرف تسلط بر فیزیک شیشه کرده ایم. ما با ترکیب پردازش لیزری پیشرفته با سنگزنی فوق{1}دقیق سنتی، «شکنندگی» شیشه را به یک مزیت رقابتی برای مشتریان خود تبدیل کردهایم. این مقاله به بررسی چگونگی غلبه بر سخت ترین موانع تولید صنعت می پردازد.
⚡ چالش: اجتناب از "تراشه"
دشمن اصلی در ماشینکاری شیشه نوری "تراشه" یا "لبه" (beng) است. برش مکانیکی سنتی اغلب باعث شکستگی های ریز-می شود که یکپارچگی ساختاری قطعه را به خطر می اندازد. در کاربردهای نیمه هادی، این ترک های ریز{3}می توانند منجر به آلودگی ذرات یا شکست فاجعه بار در خلاء شوند.
راه حل ما: رویکرد "سرد".
ما از فناوری پیشرفته پردازش لیزری Picosecond (Ps) استفاده می کنیم. بر خلاف لیزرهای سنتی که مواد را ذوب می کنند (ایجاد یک منطقه متاثر از گرما)، لیزرهای Ps ما بر اساس اصل "ابلیشن سرد" عمل می کنند.
تصعید بر روی ذوب: پالسهای{0}کوتاه (10-12 ثانیه) پیوندهای مولکولی را مستقیماً میشکنند و شیشه جامد را بدون گرم کردن ناحیه اطراف به پلاسما تبدیل میکنند.
منطقه متاثر از حرارت صفر (HAZ): تنش حرارتی و ریز{0}}ترک ها را از بین می برد.
نتیجه: ما به بریدگی لبه کمتر از 5 میکرومتر (و اغلب کمتر از 2 میکرومتر) دست مییابیم که به طور موثر نیاز به پرداخت{2}}پس از پردازش گسترده را از بین میبرد.
🌡️ چالش: استرس حرارتی و تغییر شکل
شیشه با تغییرات دما منبسط و منقبض می شود. برای قطعات شیشه ای نیمه هادی که در لیتوگرافی یا بازرسی ویفر استفاده می شود، حتی یک میکرون انحراف غیر قابل قبول است. روشهای استاندارد پردازش میتوانند استرس داخلی را ایجاد کنند که باعث میشود شیشه در طول زمان تاب برداشته شود.
راه حل ما: ساخت{0} استرس صفر
ما در پردازش شیشههای Ultra{0}Low Expansion (ULE) و سیلیس ذوب شده با خلوص بالا (HPFS) تخصص داریم.
استرس-ماشین کاری رایگان: تکنیکهای «اسکن لیزری قطعهای» و «تدریج انرژی پالس» ما تضمین میکند که انرژی به طور یکنواخت توزیع میشود و از ایجاد استرس موضعی جلوگیری میکند.
تخصص مواد: از Corning ULE® تا Zerodur®، ما ضرایب حرارتی خاص موادی را که برش میدهیم درک میکنیم.
پایداری: اجزای ما دقت هندسی خود را حتی در محیط های شدید کارخانه های ساخت نیمه هادی حفظ می کنند.
🔬 چالش: کیفیت سطح و آسیب زیر-سطح
در اپتیک، زبری سطح، انتقال نور را دیکته می کند. در نیمه هادی ها، تمیزی را دیکته می کند. سنگ زنی مکانیکی اغلب باعث ایجاد "آسیب زیرسطحی"-در زیر سطح می شود که می تواند بعداً منتشر شود.
راه حل ما: تولید هیبریدی
ما سنگ زنی مکانیکی دقیق را با اتمام مغناطیسی (MRF) و پرداخت لیزری ترکیب می کنیم.
صاف کردن لیزر: برای کاربردهای خاص، از ذوب لیزری کنترل شده برای صاف کردن سطح به زبری (Ra) کمتر از 0.1 میکرومتر بدون تماس فیزیکی استفاده می کنیم.
پرداخت MRF: برای اشکال پیچیده کروی، ما از سیالات مغناطیسی برای حذف مواد در سطح اتمی استفاده میکنیم و به زبری سطح کمتر از Ra <7nm میرسیم.
بازرسی: ما فقط حدس نمی زنیم. ما تایید می کنیم با استفاده از تداخل سنجی نور سفید و پروفیل های سطح سه بعدی، ما اطمینان حاصل می کنیم که هر قطعه از سخت ترین استانداردهای نوری ISO 10110 برخوردار است.
🚀 برنامه های کاربردی که آینده را پیش می برند
توانایی های ما دراجزای شیشه ای دقیقباعث پیشرفت در بخش های کلیدی می شوند:
لیتوگرافی نیمه هادی: ساخت مراحل و آینه های شبکیه ای که در برابر تشعشعات EUV با انرژی بالا بدون تاب مقاومت می کنند.
MEMS و حسگرها: ایجاد درپوشها و بسترهای شیشهای با-ویاسهای شیشهای (TGV) که عملکرد فرکانس بالا- بهتری نسبت به سیلیکون دارند.
پزشکی و زیستی-تکنولوژی: ماشینکاری میکرو-کانالهای سیال و تراشههای زیستی- با سوراخهای صفر برای اطمینان از تجزیه و تحلیل بیولوژیکی دقیق.
چرا با UNPARALLELED شریک شوید؟
ماشینکاری شیشه فقط برش نیست. این در مورد درک روح مادی است.
رهبر فناوری: ما از{0}}سیستمهای لیزر Ps پیشرو در صنعت و مراکز سنگزنی با دقت بالا{1} استفاده میکنیم (مانند سری Satisloh SPM).
هندسه پیچیده: از ساختارهای حکاکی یونی واکنش پذیر عمیق (DRIE) گرفته تا اپتیک های آزاد سه بعدی پیچیده، ما با اشکالی برخورد می کنیم که دیگران قادر به انجام آن نیستند.
پایان-تا-خدمات پایان: از انتخاب مواد خام (فوزد سیلیس، یاقوت کبود، زرودور) تا اندازهشناسی نهایی، ما کل فرآیند را کنترل میکنیم.
اجازه ندهید محدودیت های متریال طراحی شما را دیکته کند. اجازه دهید غیرممکن ها را ماشین سازی کنیم.
امروز با UNPARALLELED تماس بگیرید تا در مورد الزامات شیشه{0}دقیق خود صحبت کنید.