در تعقیب بی وقفه گره فرآیند 2 نانومتری و فراتر از آن، صنعت نیمه هادی اغلب بر روی سیستم های خلاء، منابع نور EUV و حسگرهای پیچیده تمرکز می کند. با این حال، مهم ترین "شریک خاموش" در این معادله، پایه مکانیکی است. از آنجایی که تجهیزات بازرسی ویفر نیاز به وضوح زیر{3}}نانو متری دارند، یکپارچگی ساختاری ارائه شده توسط پایه مترولوژی گرانیت یاپایه گرانیت اپوکسیبه عامل تعیین کننده در دستیابی به دقت تکرارپذیر تبدیل شده است.
چالش بازرسی ویفر مدرن
برای مترولوژی نیمه هادی، دشمنان اصلی لرزش و ناپایداری حرارتی هستند. همانطور که اسکنرها و ابزارهای بازرسی برای افزایش توان با سرعت بالاتر حرکت می کنند، نیروهای اینرسی تولید می کنند که می تواند دقت اندازه گیری را به خطر بیندازد. یک قاب استاندارد فولادی یا چدنی-، در حالی که مستحکم است، فاقد میرایی داخلی لازم برای از بین بردن این ارتعاشات میکرو-به اندازه کافی برای نیازهای اسکن- بعدی است.
اینجاست که علم مواد پشت راه حل های UNPARALLELED حیاتی می شود. با ارائه یک پلت فرم عظیم-پایدار، ما اطمینان حاصل می کنیم که مرحله تحمل هوا می تواند بدون تداخل خارجی یا داخلی در اوج عملکرد کار کند.
گرانیت طبیعی در مقابل گرانیت اپوکسی: انتخاب پایه مناسب
در UNPARALLELED Group، ما راهحلهای طبیعی و مصنوعی را ارائه میکنیم، زیرا هر یک نقش متمایز در اکوسیستم-با دقت بالا ایفا میکنند.
1. برتری پایدار گرانیت طبیعی. برای سال های متمادی، پایه مترولوژی گرانیت استاندارد طلا بوده است. مزیت اصلی آن در پایداری ابعادی فوق العاده و ضریب انبساط حرارتی پایین آن نهفته است. از آنجایی که گرانیت طبیعی میلیون ها سال پیر شده است، از تنش های داخلی عاری است. برای اندازهگیری استاتیک یا ابزارهایی که به بالاترین درجه صافی سطح (اغلب درجه 000) نیاز دارند، گرانیت طبیعی بیرقیب باقی میماند.
2. انعطافپذیری مهندسی گرانیت اپوکسی با پیچیدهتر شدن طراحی تجهیزات بازرسی ویفر، پایههای گرانیت اپوکسی (ریختهگری مواد معدنی) کشش قابل توجهی پیدا میکنند. این ماده از سنگدانههای انتخابی تشکیل شده است که با رزینهای-با کارایی بالا پیوند خوردهاند.
میرایی استثنایی: گرانیت اپوکسی دارای نرخ ارتعاش-تقریباً ده برابر بهتر از چدن و به طور قابل توجهی بیشتر از سنگ طبیعی است. این اجازه می دهد تا "زمان های ته نشینی" سریعتری برای مرحله باربری هوا با سرعت بالا-.
یکپارچهسازی: ما میتوانیم ویژگیهای پیچیده را مستقیماً در پایه قرار دهیم-مانند لولههای خنککننده، درجهای رزوهدار و مجرای کابل-که «هزینه کل مالکیت» را برای OEMها کاهش میدهد.
بهینه سازی رابط مرحله تحمل هوا
یک مرحله تحمل هوا فقط به اندازه سطحی است که روی آن شناور است. در کاربردهای نیمه هادی، شکاف هوا اغلب کمتر از 10 میکرومتر است. هر گونه انحراف در صافی پایه منجر به خطای مستقیم در صفحه کانونی ویفر می شود.
UNPARALLELED از تکنیکهای دستی پیشرفته-ترکیب شده با تداخل سنجی لیزری استفاده میکند تا اطمینان حاصل شود که پایههای ما یک صفحه تقریباً- عالی را ارائه میکنند. با ادغام پایه و راهنمای حرکت در یک واحد منسجم، انباشت-تلرانس های مکانیکی را به حداقل می رسانیم. این رویکرد کل نگر به همین دلیل است که سازندگان پیشرو تجهیزات نیمه هادی از مجموعه-چند بخشی به سمت ریخته گری معدنی یکپارچه یا سازه های گرانیتی یکپارچه دور می شوند.
مزیت بی نظیر در اندازه شناسی جهانی
زنجیره تامین جهانی نیمه هادی ها به چیزی بیش از یک تامین کننده جزئی نیاز دارد. به شریکی نیاز دارد که تفاوتهای ظریف سازگاری اتاق تمیز، استانداردهای خروج گاز و قابلیت اطمینان هندسی بلندمدت را درک کند. تخصص گروه UNPARALLELED در هر دو زمینه سنگ های طبیعی و ریخته گری معدنی به ما این امکان را می دهد که مشاوره فنی بی طرفانه ای را به مشتریان خود ارائه دهیم.
از تجزیه و تحلیل اولیه اجزای محدود (FEA) تا لایه بندی دقیق نهایی، فرآیند ما به گونه ای طراحی شده است که ابزار اندازه گیری نیمه هادی شما بالاترین بازده ممکن را ارائه دهد. در صنعتی که هر نانومتر اهمیت دارد، ما ثباتی را ارائه میکنیم که میتوانید بر آن بسازید.
نتیجه گیری: مهندسی آینده ثبات
تکامل تجهیزات بازرسی ویفر ادامه خواهد داد تا مرزهای فیزیک را جابجا کند. چه برنامه شما نیاز به پایداری کلاسیک پایه اندازهشناسی گرانیتی داشته باشد یا به هندسههای پیچیده و میرایی بالا-پایه گرانیت اپوکسی، گروه UNPARALLELED در خط مقدم این فناوری پایه قرار دارد. از مهندسان و یکپارچهسازان سیستم دعوت میکنیم تا بررسی کنند که چگونه مواد ما میتوانند بودجه خطای سیستمهای{{1} نسل بعدی خود را کاهش دهند.